硅烷特氣系統(tǒng)——特氣柜設(shè)計(jì)及氣路管道要求

硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆炸性燃燒的劇毒特種氣體。

硅烷在高科技行業(yè)中應(yīng)用越來越廣泛，這與它的特性有關(guān)，同時(shí)也與行業(yè)的特殊需求有關(guān)。

1、硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學(xué)反應(yīng)制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。

舉例：半導(dǎo)體行業(yè)中，硅烷SiH4是顯示屏制造中最關(guān)鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結(jié)合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。

2、硅烷（SiH4）的利用可以實(shí)現(xiàn)高純度、超精細(xì)(可達(dá)原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學(xué)反應(yīng)。從而將各種含硅材料制成復(fù)雜精細(xì)的結(jié)構(gòu), 滿足各種需要，這也正是現(xiàn)代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。

硅烷既然這么有用，那肯定不能因?yàn)樗俏ｋU(xiǎn)性氣體就不用啊，但同樣安全第一，那該怎么辦呢？特氣系統(tǒng)和特氣設(shè)備！他們的出現(xiàn)便是為了解決這種問題而專門設(shè)計(jì)出來的。

• 硅烷特氣柜設(shè)計(jì)要求

1、因?yàn)楣柰椋⊿iH4）的危險(xiǎn)性，所以整套系統(tǒng)應(yīng)該配備惰性吹掃裝置，而且應(yīng)該設(shè)置獨(dú)立的惰性氣體鋼瓶（比如高壓N2）進(jìn)行吹掃，不得采用管道氮?dú)獯祾摺?/p>

2、硅烷（SiH4）與空氣會自燃，柜內(nèi)應(yīng)配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等，當(dāng)發(fā)生泄漏時(shí)，能及時(shí)報(bào)警處理，避免更大事故的發(fā)生。

3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)，硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應(yīng)該獨(dú)立于其它氣體排氣系統(tǒng)。

4、如果排氣的硅烷（SiH4）濃度較高時(shí)，應(yīng)采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。

5、由于存在通過系統(tǒng)的固定慣性氣流，要設(shè)有防止回流裝置。

6、排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。

• 硅烷管道要求

1.硅烷特氣管道安裝一般首選管道系統(tǒng)是316或316L無縫EP級不銹鋼，其內(nèi)、外表面極其光亮，且具有焊接結(jié)構(gòu)，額定壓力為最大運(yùn)轉(zhuǎn)壓力的1.5倍，在三倍的正常傳輸壓力到最大額定壓力之間用氦檢漏，理想的系統(tǒng)應(yīng)該全部是焊接的。

2.潔凈管道的焊接除了要達(dá)到常規(guī)工業(yè)管道對焊縫的要求外，還要求焊接時(shí)管內(nèi)、外表面不受污染，焊縫內(nèi)、外表面必須與母材光亮度基本一致。

3.硅烷特氣管道系統(tǒng)上不允許使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。在所有的配送系統(tǒng)上都應(yīng)安裝流量控制閥或流量開關(guān)，以便在流線型破裂的情況下切斷氣流。這個(gè)切斷閥應(yīng)該盡可能接近氣源。

4.在硅烷設(shè)施中，所有的氣體管道、閥門和功能性組件都要貼上標(biāo)簽，說明它們的用途。管道上的標(biāo)簽應(yīng)當(dāng)說明氣流方向和氣體類型。

以上，便是硅烷特氣系統(tǒng)中硅烷（SiH4）的作用、特氣柜的設(shè)計(jì)和氣體管道要求，因?yàn)楣柰榈奈ｋU(xiǎn)特性，要選好特氣設(shè)備（特氣柜）和做好氣體管道安裝，這樣無論你是否使用，你都是可以放心和安全的。感謝您的閱讀！