高純電子特氣系統(tǒng)——特氣系統(tǒng)里的特氣設(shè)備！

隨著現(xiàn)在半導(dǎo)體行業(yè)、科研實驗室和工業(yè)綜合廠房的不斷發(fā)展，高純電子特氣系統(tǒng)得到了廣泛的應(yīng)用。GR特氣架、GC特氣柜這些特氣設(shè)備也在這些行業(yè)里成為了標配，很容易就能見到。

高純電子特氣系統(tǒng)輸送的氣體，是特氣，具有腐蝕、劇毒等性質(zhì)的危險性氣體，那它的特氣設(shè)備的配置、使用有哪些規(guī)范呢？

GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應(yīng)而設(shè)計的供應(yīng)系統(tǒng)，按類別分全自動、半自動和手動操作?；竟δ馨ㄗ詣哟祾?、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當設(shè)定報警信號被觸發(fā)時）。

咱們下面以沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）為例，全自動特氣柜以PLC為控制主體，配合觸摸屏進行系統(tǒng)顯示和設(shè)定，搭配不同的盤面設(shè)計，以滿足太陽能、半導(dǎo)體行業(yè)需求。

• 特氣系統(tǒng)設(shè)備GC配置規(guī)范:

1. GC應(yīng)配置作業(yè)用氣體面板。

2. 氣柜應(yīng)有帶機械鎖的自關(guān)閉的柜門，可實現(xiàn)自動關(guān)閉功能，并且配備防爆玻璃觀察窗，遞交螺栓設(shè)計應(yīng)滿足當?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求。

3. 氣瓶柜在柜門關(guān)閉時，氣瓶柜內(nèi)部是處于負壓狀態(tài)，而且不得低于100Pa，還有柜內(nèi)的排風換氣的頻率不能低于300次/H。

4. 報警偵測警報功能齊全。

5. 氣瓶柜的板材需要有防腐蝕涂層，且板材厚底不得低于2.5mm。

6. 急停按鈕應(yīng)位于控制面板上。

對于有特殊需求的客戶，WOFLY特氣柜會配備一些其他的安全裝備，比如：氣柜里安裝噴淋頭，在氣體下游流量過大是報警的過流開關(guān)，需要安裝溫度開關(guān)的可燃氣體系統(tǒng)等，具體的配置是根據(jù)需求發(fā)生改變的。

以上，就是特氣系統(tǒng)里的特氣設(shè)備，GC特氣柜一些基礎(chǔ)配置規(guī)范啦。感謝您的閱讀！