制程工藝特氣管道系統(tǒng)中氣體廢氣尾氣如何處理

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，對其配套項目也提出了更高要求。特種氣體供應(yīng)沒有形成有效的系統(tǒng)，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混放等問題比較嚴(yán)重，極大的影響到用氣安全。那么電子特氣管道系統(tǒng)中氣體尾氣如何處理?

特種氣體尾氣處理方式

特種氣體對身體健康以及環(huán)境都會產(chǎn)生很大的危害，如何處理特氣尾氣，用什么設(shè)備處理，這里將會進(jìn)行深入介紹。

特種氣體尾氣現(xiàn)狀

特氣廢氣尾氣作為特氣系統(tǒng)的衍生物不可避免的存在。過去，在很多高校，由于實(shí)驗室用氣量不大，建設(shè)單位的業(yè)主沒有充分意識到尾氣的排放問題，隨著更多半導(dǎo)體工廠雨后春筍的涌現(xiàn)，生產(chǎn)用特氣尾氣的排放越來越多的引起了重視。那么怎么排放，如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。

特氣系統(tǒng)尾氣排放處理裝置的處理方式：

尾氣處理裝置Local Scrubber的類型，應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進(jìn)行選擇，不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置尾氣處理裝置;

尾氣處理裝置應(yīng)靠近GR、GC等特種氣體設(shè)備布置;

特種氣體尾氣處理方法宜采用干式處理吸附Local Scrubber、濕式洗滌Local Scrubber、加熱分解處理Local Scrubber、燃燒處理Local Scrubber、等離子分解處理Local Scrubber、稀釋處理Local Scrubber及以上幾種方式的組合。