日本氣體公司重大宣布！這種電子特氣實(shí)現(xiàn)商業(yè)化

據(jù)日媒4月9日消息，日本組合化學(xué)工業(yè)株式會社成功實(shí)現(xiàn)了用于尖端半導(dǎo)體存儲器領(lǐng)域的高純度COS氣體的商品化，并將從2025年度開始銷售。公司將以此為契機(jī)，拓展包括尖端半導(dǎo)體存儲器在內(nèi)的新事業(yè)領(lǐng)域，并將繼續(xù)挑戰(zhàn)新化合物的發(fā)現(xiàn)和材料的開發(fā)。

該公司自2017年與井原化學(xué)工業(yè)合并以來，一直致力于開發(fā)新產(chǎn)品，使化學(xué)產(chǎn)品業(yè)務(wù)成為繼主營農(nóng)化業(yè)務(wù)之后的第二大業(yè)務(wù)支柱。組合化學(xué)工業(yè)在開發(fā)過程中注意到其農(nóng)用化學(xué)品中間體硫化羰（COS）在半導(dǎo)體存儲器（3D NAND）制造中用作蝕刻氣體，并于2019年開始開發(fā)COS氣體。

為了將COS氣體用于半導(dǎo)體級，必須提高其純度，使其成為“高純度COS氣體”，因此我們將于2021年在靜岡工廠建設(shè)一座新的COS純化工廠。近期，該公司通過優(yōu)化COS精煉工廠的生產(chǎn)方式，成功實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體級高純度COS氣體的商業(yè)化，并將于2025財(cái)年開始全面銷售。

組合化學(xué)工業(yè)計(jì)劃以高純度COS氣體的銷售為跳板，拓展新的事業(yè)領(lǐng)域，其中包括尖端的半導(dǎo)體存儲器領(lǐng)域。