合肥5億元電子特氣項(xiàng)目公示

2月21日，合肥生態(tài)環(huán)境局發(fā)布關(guān)于合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司《高純電子氣體新材料項(xiàng)目（重新報(bào)批）》的受理公示。

據(jù)環(huán)評(píng)文件所示，該項(xiàng)目位于合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角，總投資50205.9萬(wàn)元。

重新報(bào)批后產(chǎn)能為：

1、提純：四氯化硅300噸/年、三氯化硼200噸/年、二氯二氫硅200噸/年、超純氮300噸/年、超純氬300噸/年、超純氦10噸/年、三氟化氮500噸/年、二氧化碳100噸/年、氧氣200噸/年、氫氣20噸/年；

2、混配：磷烷+氫氣混合氣3000瓶/年、乙硼烷+氫氣混合氣3000瓶/年、氟氣+氮?dú)饣旌蠚猓?900瓶/年，100臺(tái)管束車/年）、準(zhǔn)分子激光氣28000瓶/年；

3、分裝：二氧化碳10000噸/年、液氮/氮?dú)?000噸/年、液氬/氬氣3000噸/年、液氦/氦氣50噸/年；

4、設(shè)備配套：超潔凈鋼瓶年處理20000只/年；