揚州造電子氣體精琢中國芯

日前，在位于維揚經(jīng)濟開發(fā)區(qū)生態(tài)科技園的揚州摩笛爾電子材料有限公司，技術(shù)總監(jiān)楊先金博士抱起一只比普通滅火器略大的綠色氣罐向記者介紹說，氣罐里裝著該公司研發(fā)的高純電子氣體“特摩爾”，30公斤裝，售價高達4.5萬元，“這種氣體可用于加工最新一代晶圓及抗癌藥物制備、精密儀器清洗等領(lǐng)域，填補了國內(nèi)空白。”

納米級應(yīng)用“精雕細(xì)琢”助力國產(chǎn)芯片升級加速

電子氣體是集成電路、光電子、微電子特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性材料，主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝，被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響著電路及器件的精確性和準(zhǔn)確性。

摩笛爾研發(fā)出的“特摩爾”，就是一種新型干蝕刻電子氣體。楊先金介紹，特摩爾具有蝕刻條件溫和、蝕刻損傷少、蝕刻精度高、環(huán)境友好等優(yōu)勢，“它可用于加工最新一代晶圓及抗癌藥物制備、精密儀器清洗等領(lǐng)域，助力國產(chǎn)芯片升級加速。”

楊先金說，人們常說的芯片，就是在晶圓片上刻蝕出晶體管制作而成的電路結(jié)構(gòu)，晶圓數(shù)值越低，就越能提升芯片的性能和降低芯片的尺寸，同時有效降低功耗和發(fā)熱量。因此，最新一代的晶圓已經(jīng)達到了納米級。“在納米級的晶圓上‘干活’，比在頭發(fā)絲上作畫都要復(fù)雜精細(xì)。”楊先金表示，“特摩爾”之所以能夠做到“精雕細(xì)琢”，除了具有腐蝕性外，其純度也很高，“與一般電子氣體99.99%的純度相比，特摩爾的純度達到了99.995%，能夠有效降低芯片加工過程中的次品率。”

楊先金介紹，目前產(chǎn)品正處于中試期間，售價比較優(yōu)惠，待量產(chǎn)后預(yù)計將賣到200萬元/噸。

政企同發(fā)力，海歸博士組團研發(fā)，專項資金大力扶持

這家年輕的揚州公司，為何能夠研發(fā)出填補國內(nèi)空白的高精尖產(chǎn)品？

據(jù)介紹，該公司研發(fā)團隊由七名海歸博士組成。這支陣容豪華的隊伍，研發(fā)方向橫跨半導(dǎo)體、河口海洋分析、計算機智能控制技術(shù)、生物制藥等領(lǐng)域，為實驗室技術(shù)向工廠化工藝推進，奠定了雄厚的研發(fā)力量。尤其是領(lǐng)銜團隊的張嘉恒，他多年來從事綠色電子氣體的制備與高純度研究，開發(fā)出“氣體中超微量雜質(zhì)的富集技術(shù)”“微量未知氣體雜質(zhì)結(jié)構(gòu)解析技術(shù)”“氣體低溫精餾提純技術(shù)”等多項新技術(shù)。

“產(chǎn)品研發(fā)成功，也離不開政府部門的大力支持。”楊先金介紹，公司前不久獲得了市天使（人才）專項資金200萬元。“在各級政府的關(guān)心和支持下，公司發(fā)展大大超出預(yù)期。目前，我們正與揚州一家化工企業(yè)洽談，準(zhǔn)備上馬設(shè)備，預(yù)計今年產(chǎn)能能達到100噸，實現(xiàn)銷售2億元。”