韓國大德氣體公司日前宣布，Daedeok Gas（韓國大德氣體公司）與日本TOKUYAMA（日本德山株式會社）簽訂三氯氫硅 (SiHCl?)項目合作協(xié)議，通過合作向韓國乃至整個亞洲半導(dǎo)體市場供應(yīng)高純?nèi)葰涔?(SiHCl?)。新建的群山2號工廠占地約30000平方米，配備了三氯氫硅充裝功能。
TOKUYAMA（德山株式會社）是日本領(lǐng)先的多晶硅生產(chǎn)商，為主要的半導(dǎo)體生產(chǎn)商供應(yīng)多晶硅。同時，該公司還生產(chǎn)高純度三氯氫硅。
韓國大部分特種氣體依賴進口，2019年與日本的貿(mào)易爭端導(dǎo)致半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的氟化氫氣體供應(yīng)困難，2022年俄烏戰(zhàn)爭后稀有氣體短缺導(dǎo)致價格飆升。因此，韓國正在積極擴大該國特種氣體種類和產(chǎn)能，這對于穩(wěn)定該國半導(dǎo)體行業(yè)供應(yīng)供應(yīng)鏈健康發(fā)展至關(guān)重要。
但是，在韓國只有一個高純?nèi)葰涔璩溲b工廠，這是一個潛在的風(fēng)險。所以，收購大德氣體公司三氯氫硅充裝設(shè)施將使韓國國內(nèi)生產(chǎn)設(shè)施多樣化，并為穩(wěn)定韓國半導(dǎo)體材料供應(yīng)鏈和生產(chǎn)設(shè)施做出貢獻。
除仁川總部外，大德氣體公司還運營著其他五家工廠，該公司正在加強特種氣體業(yè)務(wù)，因為半導(dǎo)體和顯示器對特種氣體的需求將會越來越大。
大德氣體2009年建成并運營的群山工廠生產(chǎn)氦氣、高純氨氣、丙烯、環(huán)氧乙烷、滅火氣體以及各種混合氣體。新投入運營的群山第2工廠配備了三氯氫硅 (TCS)、二氯硅烷 (DCS) 和四氯化硅 (STC) 和乙烷的充裝功能，以及甲基三氯硅烷 (MTS) 和三氯化硼 (BCl3) 的倉儲。
Tokuyama表示："通過與大德氣體公司合作，我們將努力支持高純?nèi)葰涔?(SiHCl?)業(yè)務(wù)全球發(fā)展，首先從進入韓國市場開始。
特種氣體三氯氫硅用于半導(dǎo)體CVD工藝和EPI工藝中的硅沉積。目前，德國、日本和美國等國家占據(jù)全球市場主導(dǎo)地位。德國瓦克公司（Wacher）、日本德山株式會社（TOKUYAMA）、美國道康寧公司（Dow Corning）等為全球知名電子級三氯氫硅生產(chǎn)商。中國電子級三氯氫硅行業(yè)主要生產(chǎn)企業(yè)包括三孚股份、晶星科技、洛陽中硅和沁陽凌空等。
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