從 【兩會(huì)】看國(guó)內(nèi)電子特氣發(fā)展現(xiàn)狀

民進(jìn)中央：加速電子特種氣體國(guó)產(chǎn)替代

今年全國(guó)兩會(huì)期間，民進(jìn)中央提出《關(guān)于加速電子特種氣體國(guó)產(chǎn)替代的提案》，指出當(dāng)前亟需加速電子特氣國(guó)產(chǎn)替代，鼓勵(lì)支持國(guó)內(nèi)氣體企業(yè)為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展自主可控“爭(zhēng)氣”。 

民進(jìn)中央表示，目前，我國(guó)工業(yè)氣體行業(yè)對(duì)高端半導(dǎo)體產(chǎn)品的供應(yīng)體系還不夠完備，在海外氣體寡頭壟斷國(guó)際市場(chǎng)、把持高端產(chǎn)品資質(zhì)認(rèn)證的背景下，我國(guó)電子特氣行業(yè)發(fā)展壯大僅靠市場(chǎng)調(diào)節(jié)難以快速破局。面臨的主要問(wèn)題有：一是寡頭壟斷市場(chǎng)格局已形成，國(guó)內(nèi)企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)劣勢(shì)明顯；生產(chǎn)原料經(jīng)濟(jì)效益不高，企業(yè)投產(chǎn)意愿不強(qiáng)；下游企業(yè)與海外供應(yīng)商合作粘性較大，實(shí)施國(guó)產(chǎn)替代主觀意愿不強(qiáng)；海外光刻機(jī)寡頭把持設(shè)備商資質(zhì)認(rèn)證高地，加劇國(guó)內(nèi)氣體企業(yè)獲證難度。 

全國(guó)人大代表郭建增：盡快啟動(dòng)國(guó)家電子特氣重大專項(xiàng) 

今年全國(guó)兩會(huì)期間，全國(guó)人大代表，中國(guó)船舶集團(tuán)有限公司第七一八研究所黨委委員、副所長(zhǎng)郭建增指出，受惠于國(guó)家政策及資金的扶持力度增加，我國(guó)的電子特氣企業(yè)已陸續(xù)解決了部分電子特氣材料國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題，但仍存在一些問(wèn)題：多種產(chǎn)品處于“卡脖子”狀態(tài)，關(guān)鍵技術(shù)存在差距，國(guó)內(nèi)電子特氣企業(yè)起步晚、發(fā)展慢。

據(jù)中國(guó)水運(yùn)網(wǎng)報(bào)道，郭建增建議，盡快啟動(dòng)國(guó)家電子特氣重大專項(xiàng)，以電子特氣龍頭企業(yè)為牽頭單位，聯(lián)合國(guó)內(nèi)電子特氣相關(guān)企業(yè)，同時(shí)引入上游原物料、儀器設(shè)備、零備件等企業(yè)，下游重點(diǎn)集成電路制造企業(yè)，共同研發(fā)卡脖子氣體。 

同時(shí)，他指出，針對(duì)未實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的電子特氣產(chǎn)品，聚力突破當(dāng)前電子特氣受制于人的關(guān)鍵核心技術(shù)，開(kāi)展電子特氣全譜系產(chǎn)品研發(fā)規(guī)劃，力爭(zhēng)用三年時(shí)間，徹底解決國(guó)家電子特氣卡脖子問(wèn)題。 

電子特氣國(guó)內(nèi)具體情況如何？

根據(jù)亞化咨詢發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體電子氣體年度報(bào)告》，2021年全球電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為62.5億美元，較2020年增長(zhǎng)7%以上。其中電子大宗氣體為17.1億美元，同比增加3.30%；電子特種氣體市場(chǎng)45.3億美元，同比增長(zhǎng)8.40%。預(yù)計(jì)2022年全球電子特種氣體的市場(chǎng)規(guī)模市場(chǎng)容量超過(guò)50.01億美元，全球電子特種氣體需求不斷提升，到2026年，電子氣體市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到每年90億美元（按當(dāng)前下游比例，對(duì)應(yīng)電子特氣規(guī)模為65.34億美元）。

                    全球電子特氣競(jìng)爭(zhēng)格局

市場(chǎng)格局方面，全球電子特氣市場(chǎng)主要被德國(guó)林德、美國(guó)空氣化工、法國(guó)液化空氣以及日本大陽(yáng)日酸占據(jù)，目前合計(jì)占據(jù)91%的市場(chǎng)份額；國(guó)內(nèi)市場(chǎng)海外龍頭企業(yè)也控制88%的份額，國(guó)內(nèi)本土氣體企業(yè)的市場(chǎng)份額不到20%。

不同品種電子特氣需求

此外，不同電子特種氣體的使用量、價(jià)格差別較大，因此市場(chǎng)規(guī)模也相差較大，其中全球市場(chǎng)規(guī)模排名靠前的電子特種氣體為三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，前十大氣體占比58%。

 從產(chǎn)品種類上看，由于電子氣體涵蓋摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體、CVD用氣體和平衡氣體等，種類過(guò)百，常用品類超過(guò)30種。據(jù)中國(guó)工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，目前集成電路生產(chǎn)用的電子特氣，我國(guó)僅能生產(chǎn)約20%的品種，其余均依賴進(jìn)口。進(jìn)口電子氣體價(jià)格昂貴、運(yùn)輸不便，使得電子特氣國(guó)產(chǎn)替代需求強(qiáng)烈、空間廣闊。

同時(shí)我們也注意到，目前國(guó)內(nèi)已涌現(xiàn)一批專注于電子氣體的國(guó)產(chǎn)替代企業(yè)，如中船派瑞特氣（全球前十）、金宏氣體、華特氣體、德?tīng)柨萍嫉?，?shí)現(xiàn)WF6、NF3、六氟乙烷、硅烷等產(chǎn)品被卡脖子的問(wèn)題。

對(duì)此，參考民進(jìn)中央提出四點(diǎn)建議如下：

一是優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局。支持國(guó)內(nèi)龍頭企業(yè)積極布局產(chǎn)業(yè)鏈，引導(dǎo)冶金、氣體、半導(dǎo)體等相關(guān)領(lǐng)域企業(yè)集群發(fā)展，形成以電子特氣龍頭企業(yè)為鏈主的國(guó)家級(jí)產(chǎn)業(yè)集群，幫助國(guó)產(chǎn)電子特氣產(chǎn)品降低交易成本，拓展利潤(rùn)空間，提高市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。目前國(guó)內(nèi)電子特氣頭部企業(yè)多為民營(yíng)資本控股的混合所有制企業(yè)，在推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展時(shí)，應(yīng)對(duì)國(guó)有企業(yè)和民營(yíng)企業(yè)一視同仁，支持民營(yíng)頭部企業(yè)積極發(fā)揮龍頭作用，同時(shí)發(fā)揮國(guó)有企業(yè)社會(huì)功能，補(bǔ)短板、強(qiáng)弱項(xiàng)。

二是加大政策扶持力度。為電子特氣產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)提供稅費(fèi)優(yōu)惠、成本補(bǔ)貼，做好供需對(duì)接，降低冶金企業(yè)生產(chǎn)初純氣體成本、國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)采用國(guó)產(chǎn)電子特氣的試錯(cuò)成本等，幫助國(guó)內(nèi)氣體企業(yè)加大原料供應(yīng)、拓寬銷售渠道。同時(shí)，順應(yīng)上下游企業(yè)耦合黏性強(qiáng)、技術(shù)研發(fā)周期長(zhǎng)等特點(diǎn)確定政策扶持周期，穩(wěn)定市場(chǎng)預(yù)期，讓國(guó)企敢干、民企敢闖、外資敢投。

三是完善市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)機(jī)制。科學(xué)制定政策實(shí)施的效果評(píng)價(jià)體系，建立退出機(jī)制、梯級(jí)激勵(lì)機(jī)制等競(jìng)爭(zhēng)機(jī)制，確保獲扶持企業(yè)積極主動(dòng)作為，維護(hù)行業(yè)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)公平性及市場(chǎng)配置效率，有效發(fā)揮財(cái)政資金引導(dǎo)撬動(dòng)作用。

四是培育質(zhì)量認(rèn)證服務(wù)市場(chǎng)。吸引海外頭部企業(yè)來(lái)華設(shè)立審核認(rèn)證服務(wù)平臺(tái)，爭(zhēng)取縮短國(guó)內(nèi)企業(yè)獲證交易成本，逐步掌握相關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、管理服務(wù)經(jīng)驗(yàn)，同時(shí)積極參與電子特氣國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)制修訂，爭(zhēng)取在產(chǎn)品資質(zhì)認(rèn)證上獲取更多主動(dòng)權(quán)。