高純氣體管道配管技術(shù)及常見氣體種類介紹

什么是高純氣體管道配管技術(shù)？所謂的高純氣體配管技術(shù)，是包括高純供氣系統(tǒng)的正確設(shè)計、閥門管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗和測試等；是高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)的重要組成部分；是保證高純氣體安全穩(wěn)定的輸送到用氣點，且符合設(shè)備使用要求的關(guān)鍵技術(shù)。

高純氣體管道工程應(yīng)用領(lǐng)域

高純氣體管道系統(tǒng)工程有著能保證氣體的純度、保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化等特點，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各種實驗室、科研研究所、標(biāo)準(zhǔn)測試等高科技行業(yè)。

常見氣體種類：

在電子工業(yè)中普通氣體，也稱大宗氣體(Bulkgas)：氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氮氣(A2)等；除普通氣體外，電子工業(yè)還會用到大量的高純特種氣體(Specialty gas )，如：SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。這些特殊氣體根據(jù)氣體性質(zhì)，類別通?？煞譃楦g性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。

常用半導(dǎo)體氣體分類如下:

1. 腐蝕性/毒性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等

2. 可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等
3. 助燃性: O2、C12、N2O、W3等
4. 惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半導(dǎo)體行業(yè)中使用的電子特種氣體，很多都是對人體有害。比如，半導(dǎo)體制程工藝最常見的特種氣體：硅烷（SiH4）就具有自燃特性，一旦發(fā)生泄漏，它們就會與空氣中的氧氣劇烈反應(yīng)并開始燃燒。再比如磷烷（PH3）和坤烷（AsH3）也具有劇毒性，任何輕微的泄漏都可能對人們的生命造成傷害。正是由于這些明顯的危險，所以對于高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計的安全性要求特別高。