砷烷（AsH3）電子特氣系統(tǒng)在集成電路關(guān)鍵制程工藝中的應(yīng)用

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的重要組成部分，高純電子特氣是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需的核心原料之一，在半導(dǎo)體材料需求中占比排名第二，達(dá)到15%左右。高純砷烷（AsH3）就是其中一種常用的高純電子特氣，在半導(dǎo)體集成電路中，通過電子特氣系統(tǒng)，安全穩(wěn)定的參與外延、擴(kuò)散、離子注入等工藝。

砷烷（AsH3）又稱砷化氫，是一種劇毒的易燃無色氣體，具有大蒜臭味，熱穩(wěn)定性較差，受熱時(shí)易分解為氯氣和元素砷。

砷烷是一種強(qiáng)烈溶血毒物，紅細(xì)胞溶解后的產(chǎn)物可堵塞腎小管，引起急性腎功能衰竭，長期在低濃度砷化氫環(huán)境中作業(yè)主要表現(xiàn)為頭痛、乏力、惡心、嘔吐，較重者可有多發(fā)性神經(jīng)炎，是一種危險(xiǎn)性電子特氣，在運(yùn)輸、存儲和使用等過程中都要注意安全。

砷烷（AsH3）是電子工業(yè)的重要基礎(chǔ)材料之一，是一種重要的電子特氣，在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于外延硅的N型摻雜、硅中的N型擴(kuò)散、離子注入、生長砷化鎵(GaAs) 和磷砷化鎵(GaAsP)，以及與ⅢA/ⅤA族元素形成半導(dǎo)體化合物等。

砷烷電子特氣系統(tǒng)的應(yīng)用：

砷烷電子特氣系統(tǒng)是通過砷烷特氣柜等SEMI 2認(rèn)證的特種設(shè)備、高潔凈度耐腐蝕的EP級316L氣體管道及氣體泄漏監(jiān)測報(bào)警系統(tǒng)等，來保證劇毒易燃的砷烷氣體純度和氣體的安全儲存、輸送及使用。

綜上，砷烷(AsH3)是一種重要且危險(xiǎn)的電子特氣，通過砷烷電子特氣系統(tǒng)保證氣體安全穩(wěn)定使用，廣泛用于半導(dǎo)體、集成電路、光電子、太陽能電池和微波裝置等行業(yè)。感謝您的閱讀！