等離子刻蝕氣體CF4供氣需不需要安裝電子特氣系統(tǒng)？

四氟化碳（CF4）是一種無(wú)色無(wú)味的氣體，無(wú)毒、不燃，但在高濃度時(shí)具有麻醉作用，且揮發(fā)性較高，與可燃性氣體燃燒時(shí)，會(huì)分解產(chǎn)生有毒氟化物，具有一定的危險(xiǎn)性。

在半導(dǎo)體、集成電路等電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，等離子表面刻蝕是一種常用的工藝，是利用典型的氣體組合形成具有強(qiáng)烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表面的有機(jī)物基體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成其他比如CO,CO2,H2O等氣體，從而達(dá)到蝕刻的目的。四氟化碳是實(shí)現(xiàn)刻蝕功能的一種常規(guī)氣體。

四氟化碳（CF4）在電離后會(huì)產(chǎn)生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體，能夠?qū)Ω鞣N有機(jī)表面實(shí)現(xiàn)刻蝕及有機(jī)物去除，在晶圓制造、線路板制造、太陽(yáng)能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。

電子特氣系統(tǒng)由供氣端（CF4是氣體鋼瓶供氣）、GC特氣柜/GR特氣架、氣體閥門分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的316L EP不銹鋼管道和氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)等組成。

電子特氣被稱為電子工業(yè)的“血液”，其純度和清潔度直接影響著光電產(chǎn)品的質(zhì)量、微電子元件的質(zhì)量、集成度、的具體技術(shù)指標(biāo)和良率，電子特氣系統(tǒng)的作用就是保證各生產(chǎn)工藝的電子特氣的純度和安全穩(wěn)定供應(yīng)，從根本上保證了電子器件的準(zhǔn)確性。

綜上，電子四氟化碳是目前半導(dǎo)體行業(yè)主要的等離子體蝕刻氣體之一，在硅、二氧化硅、金屬硅化物以及某些金屬的蝕刻，以及低溫制冷、電子器件表面清洗等方面被廣泛應(yīng)用。而電子特氣系統(tǒng)為它保駕護(hù)航，保證四氟化碳（CF4）的純度和安全穩(wěn)定使用。